本课程是为电子科学与技术、微电子技术、集成电路设计与制造等专业的硕士研究生开设的课程。半导体工艺和器件仿真软件TCAD（Technology Computer Aided Design），采用数值仿真的方法，可以对不同的工艺条件进行模拟，也可以对不同的器件结构进行优化，从而获得理想的电学特性。教学方式为教师讲授基本原理和技术，引导学生进行文献阅读和调研，通过具体实例和项目掌握TCAD仿真技术。通过本课程的学习，希望能够提高学生从事科学研究的能力，更深入的掌握TCAD的概念与实用方法，为进一步学习其它专业课和从事专业研究打下基础。

一、TCAD技术概述
二、半导体数值仿真基础
三、TCAD半导体工艺仿真
四、TCAD半导体器件仿真
五、TCAD混合仿真
六、Silvaco TCAD工具
七、Cogenda TCAD工具
八、可制造性设计理念

1、 专业期刊论文资料库。 
2、 刘睿强等著，集成电路制程设计与工艺仿真，电子工业出版社，2011。 
3、 韩雁著，半导体器件TCAD设计与应用，电子工业出版社，2013。