课程编号: 192M6001H |
课时: 21 |
学分: 1.0 |
课程属性: 专业研讨课 |
主讲教师:毕津顺 |
英文名称: TCAD Simulation |
教学目的、要求
本课程是为电子科学与技术、微电子技术、集成电路设计与制造等专业的硕士研究生开设的课程。半导体工艺和器件仿真软件TCAD(Technology Computer Aided Design),采用数值仿真的方法,可以对不同的工艺条件进行模拟,也可以对不同的器件结构进行优化,从而获得理想的电学特性。教学方式为教师讲授基本原理和技术,引导学生进行文献阅读和调研,通过具体实例和项目掌握TCAD仿真技术。通过本课程的学习,希望能够提高学生从事科学研究的能力,更深入的掌握TCAD的概念与实用方法,为进一步学习其它专业课和从事专业研究打下基础。
预修课程
集成电路制造工艺、半导体器件物理
教 材
主要内容
一、TCAD技术概述
二、半导体数值仿真基础
三、TCAD半导体工艺仿真
四、TCAD半导体器件仿真
五、TCAD混合仿真
六、Silvaco TCAD工具
七、Cogenda TCAD工具
八、可制造性设计理念
参考文献
1、 专业期刊论文资料库。
2、 刘睿强等著,集成电路制程设计与工艺仿真,电子工业出版社,2011。
3、 韩雁著,半导体器件TCAD设计与应用,电子工业出版社,2013。