本课程为电子电气与通信工程学科的研讨课，主要介绍微传感器与微系统的基本概念、发展状况、原理、关键技术、应用等，使学生了解相关领域的基础知识和一些研究方法。

第一章 基本概念
介绍微传感器与微系统的基本概念、常用术语等。
第二章 发展状况
介绍微传感器与微系统的发展状况、代表性成果等。
第三章 基本原理
介绍典型微传感器与微系统的基本原理。
第四章 关键技术
介绍微传感器与微系统的关键技术。
第五章 研究方法
交流微传感器与微系统的基本研究方法。
第六章研究方法与应用举例
介绍微传感器与微系统的应用。

Microsensors, MEMS, and Smart Devices（微传感器、微机电系统和灵巧器件）Julian W. Gardner, Vijay K. Varadan, Osama O. Awadelkarim
    微系统设计与制造 （Microsystem Design and Fabrication）王喆垚编著
微系统设计 （Microsystem Design） 刘泽文、王晓红、黄庆安等译