传感器是物联网，智慧城市，大数据和虚拟现实等新技术的重要推手和核心。MEMS技术适用于集成制造精密，廉价的传感器。本课程系统介绍MEMS的历史，物理知识，电子，机械，材料，加工知识，以及接口电路，产业化，创新创业等。

第一章	集成电路江湖和MEMS历史（六小时）
第二章	微细加工基本知识（六小时）
第三章	基本设计知识（机械）（三小时）
第四章	基本设计知识（传感，物理）(六小时)
第五章	基本传感器设计知识和传感器产业化（六小时）
第六章	MEMS核心产品介绍（加速度，压力传感器等）（六小时）
第七章	MEMS产业化和产业化基本知识（三小时）
第八章	MEMS电磁产品介绍（电感，电容，电池）（三小时）
第九章	MEMS接口电路（六小时）
第十章	MEMS生物医药应用（五小时）

	突破创新禁区（刘昶）