课程编号: 102M4007H-1 |
课时: 50 |
学分: 3.0 |
课程属性: 专业核心课 |
主讲教师:刘昶 |
英文名称: MEMS based |
教学目的、要求
传感器是物联网,智慧城市,大数据和虚拟现实等新技术的重要推手和核心。MEMS技术适用于集成制造精密,廉价的传感器。本课程系统介绍MEMS的历史,物理知识,电子,机械,材料,加工知识,以及接口电路,产业化,创新创业等。
预修课程
建议有如下课程的两个:电子电路,固体物理,微细加工,理论力学,热传导,流体力学
教 材
微机电系统基础(刘昶)
FOUNDATIONS OF MEMS
主要内容
第一章 集成电路江湖和MEMS历史(六小时)
第二章 微细加工基本知识(六小时)
第三章 基本设计知识(机械)(三小时)
第四章 基本设计知识(传感,物理)(六小时)
第五章 基本传感器设计知识和传感器产业化(六小时)
第六章 MEMS核心产品介绍(加速度,压力传感器等)(六小时)
第七章 MEMS产业化和产业化基本知识(三小时)
第八章 MEMS电磁产品介绍(电感,电容,电池)(三小时)
第九章 MEMS接口电路(六小时)
第十章 MEMS生物医药应用(五小时)
参考文献