当今世界的科技与民生离不开信息产业，信息产业离不开集成电路，集成电路离不开微纳米加工技术（Micro-Nano-Facturing）与相关设备。本课程为微电子学及半导体相关技术学科的集成电路工程专业核心课。本课程重点介绍半导体集成电路制造工艺技术的基本原理、途径、集成方法与设备。课程内容包括集成电路制造工艺、相关设备、新原理技术及工艺集成。整套课程力求让学生在了解集成电路制作基本原理与方法的基础上，紧密的联系生产实际，方便的理解这些原本复杂的工艺和流程，从而系统掌握半导体集成电路制造技术。

内容提要：
第一部分：集成电路工艺技术与装备，相关知识课堂讲授，约31学时。
第二部分：半导体工艺与制造技术实验课，安排专项工艺实验室授课及动手操作，约21学时。

第一章	半导体制造引论（夏洋，3学时）
第1节	半导体制造概述及课程介绍；
第2节	学习方法介绍；
第3节	集成电路装备技术。
第二章	光学光刻及掩模制造引论（陈宝钦，3学时）
第1节	微光刻与微纳米加工技术的发展历程
第2节	光掩制造技术与掩模版制造设备的应用技术
第3节	光学曝光分辨率增强技术与光波前工程
第三章	版图设计及数据处理技术（陈宝钦，3学时）
第1节	集成电路版图设计工具LEDIT图形编辑软件的应用技巧
第2节	任意角度与任意函数的微光刻图形数据处理技术
第3节	光学邻近效应与电子束曝光邻近效应校正数据处理技术
第四章	电子束光刻技术及其应用（陈宝钦，3学时）
第1节	电子束光刻技术的应用
第2节	电子抗蚀剂的应用技术
第3节	纳米电子束直写中若干问题的讨论
第五章	微纳光刻技术的发展与展望（陈宝钦，3学时）
第1节	下一代光刻技术与计算光刻技术
第2节	传统和非传统的微纳米制造技术
第3节	后摩尔时代的微纳光刻技术的展望与标准化技术
第六章	集成电路制造工艺基础（解婧，3学时）
第1节	集成电路通用工艺介绍（材料、硅片制备、环境调控、氧化与掺杂）；
第2节	工艺设备及其内部气体控制；
第3节	先进CMOS工艺集成，后道工艺及参数测试。
第七章	薄膜生长设备及相关技术（解婧，3学时）
第1节	蒸发、溅射等物理沉积技术的工作机理、设备结构及应用
第2节	外延生长技术的生长机理、影响因素及发展趋势
第3节	化学沉积技术的反应原理、各种沉积系统及远景展望
第八章	刻蚀工艺设备及相关技术（解婧，3学时）
第1节	刻蚀分类、特点、作用以及在集成电路制造工艺中的地位；
第2节	干法刻蚀机与相关技术；
第3节	商业化设备与设备商
第九章	微机电系统及材料与结构的原位检测装备（解婧，4学时）
第1节	常见MEMS器件、基本原理及体、表面微机械加工技术
第2节	应用需求与相关设备
第3节	材料与结构制备及实时在线原位检测与检测仪器
第4节	系统集成与商业化设备
第十章	相关设备发展史与产业化进程（夏洋，3学时）
第1节	集成电路产业设备发展史，技术进步、竞争与立身；
第2节	常见问题；
第3节	新技术发展与新原理设备。

半导体工艺、制造及设备技术实验课（夏洋、陈宝钦、解婧，21学时）
第1课：掩模版制造工艺技术实验课；辅导员张卫红老师，1学时
第2课：光学光刻及纳米制造工艺实验课；辅导员张凯平老师，1学时
第3课：集成电路版图编辑实验课；辅导员李友老师，1学时
第4课：激光曝光及电子束曝光技术实验课；辅导员王冠亚老师，1学时
第5课：纳米电子束直写光刻技术实验课；辅导员牛洁斌老师，1学时
第6课：光刻全流程工艺及设备操作实验课；辅导员邢建鹏老师，4学时
第7课：等离子体刻蚀全流程工艺及设备操作实验课；辅导员汪明刚老师，4学时
第8课：化学气相沉积全流程工艺及设备操作实验课；辅导员卢维尔老师，4学时
第9课：物理气相沉积全流程工艺及设备操作实验课；辅导员仁爱老师，4学时

注：以上实验课由夏洋老师、陈宝钦老师、解婧老师及各仪器对应的负责辅导员对学生分组授课、在不同的实验室内同时开展各项实验。

《微纳尺度制造工程》坎贝尔著（电子工业出版社 2011）
《微光刻与微纳加工技术》，陈宝钦，中国科学院微电子研究所（讲义、电子教案）。有关情况可以通过网络搜索了解。新版本完整的PPT电子教案可以按照如下地址：
http://yun.baidu.com/pcloud/album/info?query_uk=624946816&album_id=2248166757442936570直接进入百度云的《中国科学院微电子研究所陈宝钦》专集中（免费）下载。
《微纳米加工技术及其应用》第二版，崔铮著，2009.5，高等教育出版社
《光学投影曝光微纳加工技术》姚汉民，胡松等著，2006.12  北京工业大学出版社。
《纳米制造手册》纳米科学进展系列Handbook of Nanofabrication by Gary Wiederrecht 2011.4 科学出版社
《半导体制造技术导论》第二版（美）Hong Xiao（萧宏）杨银堂，段宝兴译，2012电子工业出版社