课程编号: 021M2007H |
课时: 40 |
学分: 1.0 |
课程属性: 实验课 |
主讲教师:林晓等 |
英文名称: Advanced Physiscs Experiments (1) |
教学目的、要求
高等物理实验课程为物理学科各专业研究生,尤其是实验物理专业研究生进一步了解和掌握实验技术而开设。课程内容由物理学院的固体物理实验室、薄膜物理实验室、量子光学实验室、凝聚态物理实验室等,根据学科发展和科研实际工作设置,并将随实验室建设的发展而更新。通过本课程的学习,希望学生能掌握固体物理、原子分子物理、光学、凝聚态物理和量子信息等领域的近代物理实验方法,提高实验技能,为进一步的专业学习打下基础。高等物理实验授课内容分成高等物理实验(1)和高等物理实验(2)。高等物理实验(1)侧重薄膜样品的制备,性质及改性前后形貌,微结构变化的研究,为固体物理, 薄膜物理,半导体方面的实验.
预修课程
普通物理
教 材
主要内容
高等物理实验(1)在秋季学期开设。目前该实验课由5个实验组成:
1、脉冲白光诱导快速退火实验:测量非晶硅薄膜,氮化硅薄膜等薄膜样品经不同温度的脉冲白光诱导快速退火及炉退火处理前后其表面形貌和微结构的变化,研究其变化的原因。
2、区熔再结晶实验:区熔再结晶的原理结构、退火过程对材料性能的影响。
3、薄膜制备:PECVD(或HWCVD)方法制备硅薄膜、磁控溅射方法制备透明导电薄膜、热蒸发方法制备金属薄膜(选做部分)。
4、硅薄膜测试:使用透射光谱法和台阶仪(二维轮廓仪)分别测量薄膜厚度、硅薄膜电导率测试、霍尔效应测量半导体载流子类型浓度迁移率。
5、太阳能电池测试:硅薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池的原理和结构、常用性能指标的测试。如有特殊情况的,会在此基础上做适度调整。
参考文献